迈为股份取得实用新型专利授权：“真空过滤组织及PECVD设备”

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现迈为股份（300751）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“真空过滤组织及PECVD设备”，专利申请号为CN3.6，授权日为2024年1月26日。

  专利摘要：本实用新型触及PECVD尾气处理范畴，特别触及一种真空过滤组织及PECVD设备。该真空过滤组织包含榜首管道衔接部，其与镀膜腔室方向衔接的榜首管道进行衔接；第二管道衔接部，其与真空泵方向衔接的第二管道进行衔接；真空过滤组织还包含坐落榜首管道衔接部和第二管道衔接部之间的收集部；过滤网，过滤网坐落第二管道衔接部和收集部之间；且榜首管道衔接部和第二管道衔接部穿插设置。该PECVD设备包含真空过滤组织。经过该真空过滤组织，缓解了现有过滤方法仍然存在卡死或损坏真空泵的技术问题，在完成对粉尘和颗粒物过滤的一起，还能够贮存过滤后的粉尘、颗粒物，确保了管道的疏通。

  今年以来迈为股份新取得专利授权8个，较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研制方面投入了2.85亿元，同比增39.56%。

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